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  标准概要

硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。 主要起草人 杨旭 、江莉 。 GB/T 14144-1993 (全部代替) GB/T 14144-2009 现行 本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF 1188-1105。 采标中文名称:用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法。
  基础信息
标准号 GB/T 14144-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
全部代替标准 GB/T 14144-1993
标准号 GB/T 14144-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
全部代替标准 GB/T 14144-1993
  起草单位
  峨嵋半导体材料厂
  起草人
  杨旭
  江莉
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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