标准概要

硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。主要起草人杨旭、江莉。 GB/T 14144-1993 （全部代替） GB/T 14144-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1188-1105。采标中文名称:用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法。

基础信息

标准号 GB/T 14144-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14144-1993

标准号 GB/T 14144-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14144-1993

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

杨旭

江莉

推荐标准

GB/T 12655-1998 卷烟纸

GB/T 8297-2008 浓缩天然胶乳氢氧化钾（KOH）值的测定

GB/T 37929-2019 无损检测仪器 X射线管寿命试验方法

GB/T 33400-2016 中间馏分油、柴油及脂肪酸甲酯中总污染物含量测定法

GB/T 223.24-1994 钢铁及合金化学分析方法萃取分离-丁二酮肟分光光度法测定镍量

GB/T 3543.1-1995 农作物种子检验规程总则

GB 3883.20-2007 手持式电动工具的安全第二部分：捆扎机的专用要求

GB/Z 17215.652-2022 电测量数据交换 DLMS/COSEM组件第52部分：通信协议管理配电线报文规范（DLMS）服务器

GB/T 17799.2-2003 电磁兼容通用标准工业环境中的抗扰度试验

GB/T 31447-2015 预镀锌公路护栏

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准和行业标准哪个大

团体标准和国家标准

团体标准申请时间

团体标准制定要哪些流程

团体标准案例

国家团体标准是什么

团体标准可以作为食品执行标准吗

办理团体标准申请条件

团体标准程序

团体标准良好行为评价