电子工业用气体 氦

国家标准《电子工业用气体 氦》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 西南油气田分公司成都天然气化工总厂 、北京氦普北分气体工业有限公司 、西南化工研究设计院 。 主要起草人 刘泽军 、付永成 、赵俊秀 、周鹏云 。 GB/T 16943-1997 （全部代替） GB/T 16943-2009 现行 20231008-T-469 正在审查