半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国电子技术标准化研究所 。 主要起草人 黄英华 、刘筠 、张建勇 、蒋迪宝 。 GB/T 24468-2009 现行 20231190-T-469 正在起草 本标准修改采用其他国际标准：SEMI E10-0304:2004。 采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范。