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标准概要
硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、宁波立立电子股份有限公司 、信息产业部专用材料质量监督检验中心 。 主要起草人 马林宝 、唐有青 、刘培东 、李静 、金龙 、吕立平 。 GB/T 14146-1993 (全部代替) GB/T 14146-2009 废止 GB/T 14146-2021 (全部代替)
基础信息
标准号
GB/T 14146-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
2021-12-01
全部代替标准
GB/T 14146-1993
标准号
GB/T 14146-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
2021-12-01
全部代替标准
GB/T 14146-1993
起草单位
南京国盛电子有限公司
信息产业部专用材料质量监督检验中心
宁波立立电子股份有限公司
起草人
马林宝
唐有青
金龙
吕立平
刘培东
李静
推荐标准
GB 20593-2006 化学品分类、警示标签和警示性说明安全规范 皮肤腐蚀/刺激
GB/T 27768-2011 社会保险服务 总则
GB/T 16972.1-1997 信息技术 文本与办公系统 分布式办公应用模型 第1部分:一般模型
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GB/T 16432-1996 残疾人辅助器具 分类
GB/T 35365-2017 潜水器用钛合金焊丝
GB/T 33994-2017 信息和文献 WARC文件格式
GB/T 2385-1992 染料中间体结晶点测定通用方法
GB/T 16842-1997 检验外壳防护用的试具
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