标准概要

电子工业用气体硅烷（SiH4）

Gas for electronic industry - Silane

国家标准《电子工业用气体硅烷（SiH4）》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。主要起草人余京松、周鹏云。 GB/T 15909-1995 （全部代替） GB/T 15909-2009 废止 GB/T 15909-2017 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 15909-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

废止日期 2017-12-01

全部代替标准 GB/T 15909-1995

标准号 GB/T 15909-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

废止日期 2017-12-01

全部代替标准 GB/T 15909-1995

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所

西南化工研究设计院

起草人

余京松

周鹏云

推荐标准

GB/T 35331-2017 番茄亚隔孢壳茎腐病菌检疫鉴定方法

GB/T 16855.1-2005 机械安全控制系统有关安全部件第1部分：设计通则

GB/T 44088-2024 北斗卫星导航系统测量型模块技术要求及测试方法

GB/T 6100-2007 棉纤维线密度试验方法中段称重法

GB/T 9103-1988 工业硬脂酸

GB/T 13477.25-2024 建筑密封材料试验方法第25部分：耐霉菌性的测定

GB/T 25895.3-2020 水域安全标志和海滩安全旗第3部分：使用指南

GB/T 4638-1997 35mm电影发行拷贝上画面和光学声迹的位置和尺寸

GB/T 19665-2005 电子红外成像人体表面测温仪通用规范

GB/T 10069.1-2006 旋转电机噪声测定方法及限值第1部分：旋转电机噪声测定方法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

农村土地怎么确权和确权标准

团体标准怎么参编

怎么认定团体标准

团体标准社会团体

团体标准如何收费

做团体标准费用大概多少钱

团队规范一般来说是以什么为核心

团体标准化

团体标准不公开

团体标准怎么写