标准概要

电子工业用气体硅烷（SiH4）

Gas for electronic industry - Silane

国家标准《电子工业用气体硅烷（SiH4）》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。主要起草人余京松、周鹏云。 GB/T 15909-1995 （全部代替） GB/T 15909-2009 废止 GB/T 15909-2017 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 15909-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

废止日期 2017-12-01

全部代替标准 GB/T 15909-1995

标准号 GB/T 15909-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

废止日期 2017-12-01

全部代替标准 GB/T 15909-1995

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所

西南化工研究设计院

起草人

余京松

周鹏云

推荐标准

GB/T 15837-1995 数字同步网接口要求

GB/T 14896.4-2009 特种加工机床术语第4部分：超声加工机床

GB/T 22264.1-2008 安装式数字显示电测量仪表第1部分：定义和通用要求

GB/T 18244-2022 建筑防水材料老化试验方法

GB/T 14149-1993 实验室玻璃仪器互换球形磨砂接头

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

GB/T 21334-2017 物流园区分类与规划基本要求

GB/T 26099.4-2010 机械产品三维建模通用规则第4部分：模型投影工程图

GB/T 11066.1-1989 金化学分析方法火试金法测定金量

GB/T 5069.13-2001 镁质及镁铝（铝镁）质耐火材料化学分析方法火焰原子吸收光谱法测定氧化钾、氧化钠量

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准收费吗

团体标准如何收费

企业团体意外

团体标准的标准号

《档案法》规定:机关

民事集体诉讼的程序及条件

哪里可以做团体标准

农产品团体标准

企业标准与团体标准关系

后生元团体标准