标准概要

半导体材料术语

Semiconductor materials-terms and definitions

国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等。主要起草人孙燕、黄笑容、向磊、翟富义、卢立延、郑琪等。 GB/T 14264-1993 （全部代替） GB/T 14264-2009 废止 GB/T 14264-2024 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 14264-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-11-01

全部代替标准 GB/T 14264-1993

标准号 GB/T 14264-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-11-01

全部代替标准 GB/T 14264-1993

起草单位

中国有色金属工业标准计量质量研究所

杭州海纳半导体有限公司

有研半导体材料股份有限公司

国瑞电子材料有限责任公司等

起草人

孙燕

黄笑容

卢立延

郑琪

向磊

翟富义

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