标准概要

酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

国家标准《酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位新光硅业科技责任有限公司。主要起草人王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。 GB/T 24582-2009 废止 GB/T 24582-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 24582-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-03-01

标准号 GB/T 24582-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-03-01

起草单位

新光硅业科技责任有限公司

起草人

王波

过惠芬

敖细平

吴道荣

梁洪

推荐标准

GB/T 8243.4-2003 内燃机全流式机油滤清器试验方法第4部分: 原始滤清效率、寿命和累积效率（重量法）

GB/T 44842-2024 微机电系统（MEMS）技术薄膜材料的弯曲试验方法

GB/T 23273.4-2009 草酸钴化学分析方法第4部分：硅量的测定钼蓝分光光度法

GB/T 44178-2024 绿色产品评价石材

GB 9685-2008 食品容器、包装材料用添加剂使用卫生标准

GB/T 35596-2017 硼硅酸盐玻璃吹制耐热器具

GB/T 11790-1996 设备及管道保冷技术通则

GB/Z 44387-2024 微细气泡技术微细气泡特性测量技术

GB/T 12673-2019 汽车主要尺寸测量方法

GB/T 5585.1-2005 电工用铜、铝及其合金母线第1部分：铜和铜合金母线

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质