标准概要

硅外延片

Silicon epitaxial wafers

国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位宁波立立电子股份有限公司。主要起草人许峰、刘培东、李慎重、谌攀。 GB/T 14139-1993 （全部代替） GB/T 14139-2009 废止 GB/T 14139-2019 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 14139-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2020-05-01

全部代替标准 GB/T 14139-1993

标准号 GB/T 14139-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2020-05-01

全部代替标准 GB/T 14139-1993

起草单位

宁波立立电子股份有限公司

起草人

许峰

刘培东

李慎重

谌攀

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