标准概要

电子工业用气体三氟化氮

Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

国家标准《电子工业用气体三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。主要起草人王少楠、余启富、宋再卿、刘新明等。 GB/T 21287-2007 废止 GB/T 21287-2021 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

起草单位

核工业理化工程研究院特气中心

黎明化工研究院

西南化工研究设计院

中核红华特种气体股份有限公司

国家标准物质研究中心

起草人

王少楠

余启富

宋再卿

刘新明

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申明

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电子工业用气体 三氟化氮

电子工业用气体三氟化氮