标准概要

电子工业用气体三氟化氮

Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

国家标准《电子工业用气体三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。主要起草人王少楠、余启富、宋再卿、刘新明等。 GB/T 21287-2007 废止 GB/T 21287-2021 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

起草单位

核工业理化工程研究院特气中心

黎明化工研究院

西南化工研究设计院

中核红华特种气体股份有限公司

国家标准物质研究中心

起草人

王少楠

余启富

宋再卿

刘新明

推荐标准

GB/T 14885-2022 固定资产等资产基础分类与代码

GB 4706.38-2003 家用和类似用途电器的安全商用电动饮食加工机械的特殊要求

GB/T 30586-2022 铜包铝扁棒

GB/T 25764-2024 滚动轴承汽车变速箱用滚子轴承

GB/T 4706.119-2024 家用和类似用途电器的安全第119部分：含有激光或强光源（ILS）的化妆和美容护理器具的特殊要求

GB/Z 41465-2022 公共资源交易主体信用评价实施指南

GB/T 4706.100-2024 家用和类似用途电器的安全第100部分：多功能淋浴房的特殊要求

GB/T 8446.1-2022 电力半导体器件用散热器第1部分：散热体

GB/T 13420-1998 电子设备用机电开关第6部分:微动开关分规范第1篇:空白详细规范

GB/T 42456-2023 工业自动化和控制系统信息安全 IACS组件的安全技术要求

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

电子工业用气体 三氟化氮

电子工业用气体三氟化氮