表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 主要起草单位 清华大学电子工程系 。 主要起草人 查良镇 、陈旭 、黄雁华 、王光普 、黄天斌 、刘林等 。 GB/T 20176-2006 现行 20232769-T-469 正在征求意见 本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14237:2000。 采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度。