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标准概要
纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》 由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 主要起草单位 中国科学院物理研究所 、国家纳米科学中心 、深圳市标准技术研究院 。 主要起草人 顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。 GB/T 42106-2022 现行
基础信息
标准号
GB/T 42106-2022
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
标准号
GB/T 42106-2022
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
起草单位
中国科学院物理研究所
深圳市标准技术研究院
国家纳米科学中心
起草人
顾长志
杨海方
王益群
樊阳波
李俊杰
刘前
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