产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

国家标准《产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性》 由TC240（全国产品几何技术规范标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 清华大学 、山东大学 、深圳市中图仪器股份有限公司 、哈尔滨工业大学 、中机生产力促进中心有限公司 、中国计量科学研究院 、广州计量检测技术研究院 、中机研标准技术研究院（北京）有限公司 。 主要起草人 尉昊赟 、闫鹏 、马俊杰 、刘俭 、施玉书 、代鲲鹏 、朱悦 。 GB/T 33523.603-2022 现行 本标准等同采用ISO国际标准：ISO 25178-603:2013。 采标中文名称:产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性。