标准概要

刻蚀机用硅电极及硅环

Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine

国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。主要起草人库黎明、孙燕、闫志瑞、张果虎、夏秋良、潘金平。 GB/T 41652-2022 现行

基础信息

标准号 GB/T 41652-2022

发布日期 2022-07-11

实施日期 2023-02-01

标准号 GB/T 41652-2022

发布日期 2022-07-11

实施日期 2023-02-01

起草单位

有研半导体硅材料股份公司

新美光（苏州）半导体科技有限公司

山东有研半导体材料有限公司

浙江海纳半导体有限公司

起草人

库黎明

孙燕

夏秋良

潘金平

闫志瑞

张果虎

推荐标准

GB/T 33523.601-2017 产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性

GB/T 44895-2024 市场和社会调查调查问卷编制指南

GB/T 16315-2017 印制电路用覆铜箔聚酰亚胺玻纤布层压板

GB/T 31396.3-2020 机床分离爪自定心卡盘尺寸和几何精度检验第3部分：梳齿配合型动力卡盘

GB/T 6115.2-2017 电力系统用串联电容器第2部分：串联电容器组用保护设备

GB/T 6809.7-2005 往复式内燃机零部件和系统术语第7部分：调节系统

GB/T 17257.1-1998 集尿袋第1部分:术语

GB/T 45055-2024 大型空分装置用透平压缩机

GB/T 15936.6-1996 信息处理文本与办公系统办公文件体系结构（ODA）和交换格式第六部分:字符内容体系结构

GB/T 30043-2013 煤炭直接液化　液化残渣软化点的测定环球法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

做团体标准需多少费用

北京团体标准

团队规范一般来说是以什么为核心

参编团体标准意义

集体宿舍标准一人平均面积

健康饮用水水质团体标准

做团体标准的要求

协会标准是团体标准吗

团体标准不公开

团体标准与企业标准