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标准概要
光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 。 主要起草人 马农农 、何友琴 、王东雪 、何秀坤 、冯亚彬 、裴会川等 。 GB/T 29852-2013 现行
基础信息
标准号
GB/T 29852-2013
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
标准号
GB/T 29852-2013
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心
国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心
中国电子技术标准化研究院
天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人
马农农
何友琴
冯亚彬
裴会川
王东雪
何秀坤
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