标准概要

光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。主要起草人马农农、何友琴、王东雪、何秀坤、冯亚彬、裴会川等。 GB/T 29852-2013 现行

基础信息

标准号 GB/T 29852-2013

发布日期 2013-11-12

实施日期 2014-04-15

标准号 GB/T 29852-2013

发布日期 2013-11-12

实施日期 2014-04-15

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心

国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心

中国电子技术标准化研究院

天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人

马农农

何友琴

冯亚彬

裴会川

王东雪

何秀坤

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