标准概要

硅单晶抛光试验片规范

Specification for polished test silicon wafers

国家标准《硅单晶抛光试验片规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位宁波立立电子股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司。主要起草人宫龙飞、何良恩、许峰、黄笑容等。 GB/T 26065-2010 现行

基础信息

标准号 GB/T 26065-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

标准号 GB/T 26065-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

起草单位

宁波立立电子股份有限公司

杭州海纳半导体有限公司

起草人

宫龙飞

何良恩

许峰

黄笑容

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