标准概要

硅退火片规范

Specification for silicon annealed wafers

国家标准《硅退火片规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位万向硅峰电子股份有限公司、有研半导体材料股份公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司。主要起草人楼春兰、孙燕、朱兴萍、宫龙飞、王飞尧、黄笑容、方强。 GB/T 26069-2010 废止 GB/T 26069-2022 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26069-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2022-10-01

标准号 GB/T 26069-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2022-10-01

起草单位

万向硅峰电子股份有限公司

宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司

有研半导体材料股份公司

起草人

楼春兰

孙燕

王飞尧

黄笑容

朱兴萍

宫龙飞

方强

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申明

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